彤程新材(603650)宣布,拟通过公司全资子公司-上海彤程电子材料有限公司(简称,彤程电子)在上海化学工业区内使用自筹资金6.9853亿元,投资建设“ArF高端光刻胶研发台建设项目”,项目预计于 2023年末建设完成。

据介绍,项目主要研究 ArF 湿法光刻胶工业化生产技术开发,通过建立标准化的生产及控制流 程,提升高端光刻胶的质量控制水,实现 193nm 湿法光刻胶量产生产;同时,逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价台。

彤程新材称,根据公司发展战略,进一步深化公司在电子材料领域的业务布局,弥补国内光刻胶技术与全球先进水的差距,研究ArF光刻胶,特别是193nm湿法光刻胶的工业化生产技术,确定193nm光刻胶工程化放大技术、标准的生产流程及质量管控体系,研发生产光刻胶高端产品。